隨著納米科技的不斷進步，人們對材料微納尺度的加工需求越來越大。聚焦離子束掃描電子顯微鏡（FIB）雙束系統（Dual Beam，DB）因具有高強度聚焦離子束對材料進行微納米尺度精密加工、并結合掃描電子顯微鏡（SEM）進行實時觀察的優點，充分發揮了聚焦離子束和電子束兩者的長處而成為制造納米器件、加工納米結構的重要手段和重要方法。目前FIB在微納米加工、半導體集成電路修補以及材料科學研究等諸多領域有著廣泛應用。

雙束DB系統設備不僅是強有力的分析工具，而且是強有力的制樣工具。運用FIB技術進行SEM垂直制樣的方法，取得了比單純用SEM垂直剖面制樣更好的效果，主要優點有：

1）精確定位；

2）多角度觀察；

3）多層次觀察