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透射電鏡

透射電子顯微鏡(Transmission electron microscope,縮寫TEM),簡稱透射電鏡 ,是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關,因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來。

由于電子的德布羅意波長非常短,透射電子顯微鏡的分辨率比光學顯微鏡高的很多,可以達到0.1~0.2nm,放大倍數為幾萬~百萬倍。因此,使用透射電子顯微鏡可以用于觀察樣品的精細結構,甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結構,比光學顯微鏡所能夠觀察到的最小的結構小數萬倍。TEM在中和物理學和生物學相關的許多科學領域都是重要的分析方法,如癌癥研究、病毒學、材料科學、以及納米技術、半導體研究等等。

在放大倍數較低的時候,TEM成像的對比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成對電子的吸收不透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM),可以看到在光學顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細微結構,這些結構稱為亞顯微結構或超微結構。要想看清這些結構,就必須選擇波長更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發射電子束的電壓平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。目前TEM的分辨力可達0.2nm。



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